在实验中的方案,现在却见这里已经拿出了成品,当然就想要问清楚。
林奔坚对此也是一头雾水,好在他脑子里面还有理智,没有选择直接跳出来。
而是在徐教授发完言下台后,赶忙就带着阿斯麦的人,找到了徐教授。
“徐教授,我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的?”
徐教授之前听李皓提起过这位,也听过他的一些研究方向。
所以对于他的质问,并没有太过意外:“这个自然是我们基于浸没式光刻技术,自行研发出来的成果,有什么问题吗?”
浸没式光刻起源于浸润式显微镜,是由一个意大利科学家在1855年发明的。
相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶上,这个显微镜的功能则是将图案放大到d探测器上。
虽然是两个不同的领域,但根本的原理却是相通的,所以徐教授这么说也没问题。
可是架不住林奔坚不信啊,质疑道:“真的是这样吗?我记得之前,曾经有一位大陆人接触过我,希望我能加入到国内的实验室工作。
虽然当时他并没有说哪家实验室,但看现在情况,他应该和您是一起的吧。
您可能还不知道,我已经和阿斯麦公司达成了合作,也正在研究浸没式光刻机。”
听到这话,徐教授也是不由皱起了眉头:“所以你是怀疑,我们偷取了你的研究成果?这简直就是个笑话。
就不说浸没式的概念,早在上个世纪就有人提出过,就算是有关光刻机的具体理论,也是在1980年,由列支敦士登公国的wtabarelli和ewlobach提出。
并且还在美国申请了专利,这个和你好像也没什么关系吧,所以你指的偷取成果是从何而来。”
这话堵得正中核心,毕竟老美自己的专利认可,它们总不能来自打嘴巴。
徐教授这里聚集了一堆人,也让在后面关注的李皓注意到了。
于是便走了过来,询问发生了什么事情。
徐教授不客气的说道:“这位是台岛的林奔坚教授,刚刚质疑我们剽窃成果。”
“林教授,之前你虽然没有接受邀请,但谈的也算是愉快,不用