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    第226章 二百二十五章:三代机

    1996年1月3日,熊院士给从越打了一个电话,电话里熊院士那个笑声真实的表达了他此刻的心情!

    熊院士跟从越说道:“你赶紧来我这一趟,第三代光刻机测试成功了,具体数据你来了之后我再跟你细说!”

    从越听闻也心情大好,他立即就回复道:“我一会就到!”

    从越立即通知朱良让老任把车准备好,出发去沪海精机所,路上从越掩盖不住脸上的笑意,朱良跟老任明显都能感觉到从越的心情非常不错。

    从越到了之后直接就去了组装室,他估计熊院士肯定在哪里。从越猜的一点没错,等他换好衣服进入总装室后,熊院士果然在这里!

    在助手的提醒下,熊院士看见从越已经到了,就上前跟从越说道:“从总,不负众望,第三代光刻机提前完成整机组装测试!”

    从越问道:“具体参数是多少?”

    熊院士跟从越讲述着这台光刻机的各项参数:“这是第三代扫描投影式光刻机,它的光源使用的是华虹最新研发的248n的krf氟化氪准分子深紫外光源,经过多次测试,它的最大精度可以达到150-250纳米。”

    从越听后兴奋的围着这台来之不易的设备来回转了几圈,爱不释手的摸了又摸!

    熊院士无限感慨的看着从越,他非常理解从越的心情,经历了近两年的时间,总算是取得了一些成功,但是更长远的路程还在后面呢!

    待从越回到熊院士身边后,熊院士无情的泼了盆冰水给从越降了一下温,他跟从越说道:“你知道这台光刻机使用了多少进口零件吗?”

    从越看着熊院士没有回答,他等待着熊院士告诉他答案!

    熊院士叹了一口气:“唉!47的零部件都是进口外购的,要不是你预先进行了光源与镜片的研发准备,这个数字估计能达到85,这么一来导致这台光刻机的成本直线上升。同比国外的同类产品我们这台光刻机的成本价贵同类产品近三倍啊?”

    说完之后熊院士不停的摇着头,从越反过来安慰这个老爷子:“熊老!您不必担忧,反正我暂时也没打算卖这东西,主要目的还是为了锻炼咱们自己的队伍。还是那