,会被大多数材料强烈吸收,以至于无法到达芯片上!只有二氟化钙研磨的镜头可以勉强使用,但是这种材料做光学镜头,质量太差,寿命也短。
至于euv光源,那就不用折射原理了,直接加反射镜片,解决了透镜吸收光源的问题,但是,这种光刻机属于全新的产品,研发很难,而且,极紫外光的产生很困难,需要耗费大量的电力。
两种技术路线,都有很大的问题,接下来用什么技术路线,非常关键!
“嗯,我们开辟新的赛道。”秦川说道:“我们在arf光刻机的基础上,镜头和光源之间加一层水,通过水的折射作用,把193纳米光源降低到134纳米。”
什么?
徐教授惊呆了,倪老也惊呆了。
这不是开玩笑吗?在精密的光刻机镜头上,加一层水?
万一这层水要是漏了,岂不是会让光刻机坏掉?万一水里有一个气泡,岂不是会改变光线的路径,从而导致整个硅片都报废?
193纳米以下光源技术,困扰了整个光刻机行业很多年!
尼康、佳能这些光刻机巨头,坚定地走157纳米光源道路,结果……技术路线错误,耗费巨资研制出来的157纳米光刻机,没得到一个订单!这些巨头也因此而衰落。
后世大名鼎鼎的asl,就是因为押宝浸润式光刻机,取得了圆满成功,赢家通吃,彻底占领光刻机市场!
秦川不懂造芯片,但是基本的路线还是知道的。而且,他还知道其中一个关键人物:林本坚!
林本坚,湾湾人,1970年从湾湾毕业之后,就去了俄亥俄州立大学读研,老师就是光刻机领域里的技术泰斗:帕特里克-怀特博士。在导师的带领下,他们团队研制出来了深紫外光源,从248纳米进步到了193纳米。
林本坚毕业后,先加入了ib公司,之后又在ib旗下的领创公司工作,继续捣鼓光刻机技术,当光刻机技术在193纳米光源面前停滞不前的时候,他提出来了浸润式技术,也就是把光源和镜头泡在水里,从而将光源波长缩短。
可惜,他四处碰壁,ib不要,之后他新加入的台积电也不要,他只能跑去给默默无名的asl推销,然后,asl就