氯硅烷气体。
高浓度的三氯硅烷气体分离完成以后,会全部来到多晶硅生长炉进行二次加热。
“韩工,炉内气体到达峰值,是否进行加热?”
蓝色品质人才询问。
站在他们身后,同样紧盯仪器各项数值的韩铭点了点头,提高音量道:“拉升温度500。”
“拉升温度500!”
蓝色品质人才重复一句。
工业作业时,重复念出相应数值可以让工程师判断,操作员有没有听错数值或输错数值,减少低级失误的发生。
“炉内温度300!”
“400!”
“500了!”
“加入氢气还原!”
“氢气已注入!”
“炉内温度拉升,数值1100度!”
“炉内温度拉升,数值1100度!”
“正在拉升!”
“800!”
“900!”
“1000!”
“炉内温度已到达目标温度!”
在炉内温度到达1100度时,韩铭看着设备各项数值均正常,不由得暗自松了口气。
设备没有问题。
气体提纯一切进展顺利。
在1100度的高温下,高浓度的三氯硅烷遇到氢气,会生成硅、氯化硅、四氯化硅。
而在这个温度下,只有硅是固态,持续的高温,以及高浓度的三氯硅烷与氢气反应,会让硅不断在底部沉积,这就是为什么这个高温反应炉叫多晶硅生长炉,因为是真能长出多晶硅!
“按照这批设备的生产效率,一周应该能累积一百斤吧?”
韩铭喃喃自语。
目前生产使用的设备,真的是过于落后了。
无论是矿热炉还是生长炉,都像是五年前的产物,功率和效率都跟不上主流。
……
另一边。
鲲鹏公司坂田基地总部。
任国非在离开龙兴科技公司后,立马履行对陈星的承诺,喊来了负责设备采购的王瑞军。
王瑞军的身份不简单,鲲鹏公司内部都叫他耗子。