”
“我明白了。”
杨烈点了点头。
在叮嘱完杨烈韩铭,以及龙兴硅业的其他人才后,陈星便来到了隔壁不远处的龙兴化工厂。
化工厂不同于硅业工厂,这里弥漫着刺鼻的味道。
破解光刻胶,以及配套试剂应有的成分,这对于科研工程师来说只能不断尝试。
早早在门口等待的朱明月见陈星到来,立马递上过滤口罩道:“总裁快请进。”
陈星接过口罩戴上,便跟随他走进化工厂。
化工厂真不比硅业工厂,刺鼻的味道闻久了都感觉会折寿,全是化学试剂的刺鼻味。
在穿过调配区,朱明月带陈星来到了他的办公室,关上房门并打开过滤抽风机。
不一会。
两人都摘下了口罩。
朱明月从办公室保险箱,拿出数瓶约摸550毫升罐装可乐大小的密封罐子道:
“1号arf光刻胶,曝光波长:193n i,技术节点及应用:n40n-7n ptd l/s,工艺能力cd:0063u,工艺能力thk:016-024u。”
“翻译一下。”
虽然陈星是重生者,又带有国产之光系统,但这并不代表他是万能的,光刻胶他可没学过。
朱明月闻言,淡淡一笑解释道:“曝光波长193纳米,说明它支持193深紫外光,也就是duv光刻机的曝光,技术节点及应用n40纳米-7纳米 ptd l/s,可用于40纳米到7纳米芯片的生产。”
“工艺能力cd:0063u是分辨率,而工艺能力thk:016-024u则是涂抹厚度。”
陈星理解能力很强,在听了讲解以后,立马抓住重点道:“也就是说,这是一款足以支持7纳米芯片生产使用的光刻胶?”
“是的。”
朱明月点了点头,继续抛出这款光刻胶的底细道:“因为考虑到我们没有euv光源,所以这款光刻胶曝光波长设计在193。”
“如果要用一句话概括,那就是这款光刻胶是我专门为多重曝光技术而设计的产品。”